快科技6月8日音问，针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻开荒的传言，台积电董事长魏哲家近日在鞭策大会上躬行辟谣，示意有买High-NAEUV光刻机，且正勇猛研发，但基于资本考量，现阶段暂不参加量产。
这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机，每台单价高达3.8亿至4亿好意思元，是面前主流EUV开荒的两倍多。魏哲家坦言，开荒太贵是暂不量产的主因。
开运体育中国官方网站台积电的计谋是先用好手里现存的EUV开荒。魏哲家强调，现存光刻机搭配多重图案化工夫，澳门威尼斯官方网站仍足以复古先进制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再动手。
台积电早在2024年9月就接纳了首台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于开荒下一代工艺的基础光刻工夫。魏哲家觉得，提前启动研发准备，才智确保将来投产时达到可靠良率与产出甩手。
不外他坦言，要把这台4亿好意思元的开荒信得过用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电选择先研发、后投产更适当的道路，合乎其一贯的资本秩序。
魏哲家展望，High-NAEUV将在信得过需要单次曝光杀青更微小线宽且晶圆资本驱动具备竞争力的时间点，当然进入坐褥体系。
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